XP-780 系列壓電掃描臺采用機構放大設計原理,柔性鉸鏈連接支撐傳動,內部采用高可靠性壓電陶瓷驅動,實現X 軸可達 200μm 的位移,可配置閉環傳感實現高精度掃描與定位。壓電平臺具有25mm×25mm 的通孔,適用于光學掃描。平臺可以通過疊加轉接的方式實現二維、三維運動。 ?大行程、高精度、大負載 XP-780 系列大行程壓電掃描臺采用機構放大設計原理,可以實現 200μm 的位移行程,無摩擦無空回的柔性導向機構使其具有超高的分辨率,選擇配置閉環傳感器可實現納米級的定位精度,臺體通孔使其適用于顯微掃描等應用。 優異的結構設計使其具有非常高的剛度,承載能力大,可帶載 5kg 的樣品做精密定位。 ? |