P12系列壓電掃描臺為壓電陶瓷驅動、1~3維并聯式平移掃描臺,臺體中心圓形通孔孔徑可選25mm或35mm,滿足顯微等應用。壓電掃描臺可以實現單軸320μm的位移行程,一體式結構使得多維運動無耦合、多種規格型號可選,以滿足不同應用的需求。 P12.XY/XZ-D3為二維XY或XZ軸運動壓電掃描臺,結構緊湊,外形尺寸70×70×24mm,zui大行程可達110μm/軸。壓電驅動、無摩擦、柔性鉸鏈導向系統使得這一系列產品實現納米級的分辨率,毫秒級的響應時間,臺體中心中孔尺寸Φ35mm,非常適合于顯微及掃描中的樣品定位 特性 • 二維XY或XZ向運動,zui大行程110μm/軸 • zui大承載0.6kg • 通孔尺寸:Ø35mm(Ø25mm可選 ) • 閉環重復定位精度高 • 響應速度快 外觀形狀 | P12.XY-D3運動示意圖 | P12.XZ-D3運動示意圖 | ![](http://www.coremorrow.com/uploads/image/20180327/1522124182.jpg)
| ![](https://img75.ybzhan.cn/gxhpic_f207375321/ff873517cf91b5d88d35c98e2447a160c1a29df34633f54f498a942d38b776a7a6c37dbbd277dc00.png)
| ![](https://img75.ybzhan.cn/gxhpic_f207375321/ff873517cf91b5d88d35c98e2447a1603e261f7efb6443ac51680dc0f89441ce8a18aba81bddf211.png)
|
小體積、大位移、中心通孔 | 頻率負載曲線 | P12.Z300閉環穩定時間圖 | P12系列壓電掃描臺采用機構放大設計原理,超小的體積外形,尺寸僅為70×70×24mm,P12.XY/XZ-D3可以實現zui大110μm/軸的掃描范圍,中心通孔可選35mm或25mm,25mm通孔對應臺體外形尺寸為60×60×24mm。 臺體采用FEA有限元分析優化設計,具有零摩擦、超高導向精度、納米級分辨率等優點。 P12系列壓電掃描臺內置高可靠性表面絕緣壓電陶瓷,確保了掃描臺的可靠性與穩定性。 | ![](http://www.coremorrow.com/uploads/image/20180327/1522141483.jpg)
| P12系列壓電掃描臺具有優異的階躍穩定性,下圖為P12.Z300zui大位移320μm閉環穩定時間圖。 ![](http://www.coremorrow.com/uploads/image/20180327/1522146365.jpg)
|
平穩和精確的掃描圓形驅動 | 精準圓形驅動控制,可以通過精切定位XY平臺的每一軸,采用正弦波90°相差輸入,也可以通過PID修正位移進行調整,根據頻率幅值以及負載使得驅動控制平穩精確。 | ![](http://www.coremorrow.com/uploads/image/20180330/1522406851.jpg)
|
應用 • 圖像處理與穩定 • 精密定位 •光學捕獲 • 掃描顯微 • 干涉/計量 • 半導體測量 • 表面檢測 • 光學計量 • 光學顯微成像 • SPM掃描顯微鏡 • 掩模/晶圓定位 • 生物技術 • 表面結構分析 P12全系列產品 P12系列壓電掃描臺包括X/XY/XZ/XYZ四種運動結構形式,可以滿足1~3維大行程掃描或定位的應用需求。同時,P12具有兩種通孔直徑可供選擇,分別為25mm、35mm。 中孔直徑25mm版本: ![](http://www.coremorrow.com/uploads/image/20180327/1522138293.jpg)
| ![](http://www.coremorrow.com/uploads/image/20180327/1522141330.jpg)
| ![](http://www.coremorrow.com/uploads/image/20180327/1522143539.jpg)
| ![](http://www.coremorrow.com/uploads/image/20180327/1522138308.jpg)
| ![](http://www.coremorrow.com/uploads/image/20180327/1522141041.jpg)
| P12.X一維 110μm運動范圍 | P12.Z一維 110/210/320μm運動范圍 | P12.XY二維 110μm/軸運動范圍 | P12.XZ二維 110μm/軸運動范圍 | P12.XYZ三維 110μm/軸運動范圍 |
中孔直徑35mm版本: ![](http://www.coremorrow.com/uploads/image/20180327/1522137848.jpg)
| ![](http://www.coremorrow.com/uploads/image/20180327/1522140340.jpg)
| ![](http://www.coremorrow.com/uploads/image/20180327/1522144533.jpg)
| | | P12.X/Z-D3一維 110μm運動范圍 | P12.XY/XZ-D3二維 110μm運動范圍 | P12.XYZ-D3三維 110μm運動范圍 | | |
|