P12系列壓電掃描臺為壓電陶瓷驅動、1~3維并聯式平移掃描臺,臺體中心圓形通孔孔徑可選25mm或35mm,滿足顯微等應用。壓電掃描臺可以實現單軸320μm的位移行程,一體式結構使得多維運動無耦合、多種規格型號可選,以滿足不同應用的需求。
P12.XYZ三維XYZ軸壓電掃描臺,結構緊湊,外形尺寸60×60×24mm,zui大行程可達110μm。壓電驅動、無摩擦、柔性鉸鏈導向系統使得這一系列產品實現納米級的分辨率,毫秒級的響應時間,臺體中心中孔尺寸達Φ25mm,非常適合于顯微及掃描中的樣品定位。 特性 • 三維XYZ向運動,zui大行程110μm/軸 • zui大承載0.6kg • 通孔尺寸:Ø25mm(Ø35mm可選 ) • 閉環重復定位精度高 • 響應速度快 應用: 晶圓切割•生物顯微•白光干涉• 原子力顯微鏡•差動聚焦檢測系統•顯微光學成像
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