芯明天放大機構式壓電掃描臺 P16壓電掃描臺為XY軸平移掃描臺，機構放大設計原理，中心通孔孔徑為20mm，該系列掃描臺有50μm與100μm兩種規格行程 可選，開環閉環可選。方形移動臺面，便于與外部機械結構安裝連接。

P16壓電掃描臺特性

•大位移100μm

• 大承載1.5kg

• 通孔尺寸：Ø20mm

• 閉環重復定位精度高 • 開環閉環可選

剛度大、諧振頻率高、負載能力大

    P16系列壓電掃描臺，采用機構放大設計原理，內置高性 能壓電陶瓷，兩個規格型號掃描臺分別可實現50μm與100μm 的運動行程，一體式結構設計XY軸運動無耦合，優異的結構 可以承載1.5kg的負載，空載諧振頻率達400Hz。

    P16.XY100版本為中心對稱運動方式，需配套帶有一通道 恒壓的三通道壓電控制器。

   P16二維壓電掃描臺中心通孔尺寸Ø20mm，該系列壓電 掃描臺以其小體積、大負載、高動態等特性廣泛應用于顯微成 像等領域。

芯明天放大機構式壓電掃描臺P16壓電掃描臺典型應用

• 顯微成像 • 表面檢測

• 干涉/計量 • 精密定位

• 光學 • 微操作

應用實例

    P16.XY二維壓電掃描臺以其大承載、高頻率等特點，應用于光 路調整實驗中，帶載大鏡架做XY軸精密運動。

P16壓電掃描臺技術參數：

以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。