壓電物鏡掃描器的特性說明 產品特性 外形尺寸:40x48x34.5mm,結構緊湊,易于集成,靈活的螺紋轉接器,zui大螺紋接口M28; 行程為100um,分辨率為0.5nm; 采用無摩擦高精度柔性鉸鏈導向系統,快速響應; 內置高性能的壓電陶瓷,高可靠性; 內置精密位移傳感器進行全閉環位置反饋,開/閉環可供選擇。 壓電物鏡掃描器是采用壓電陶瓷驅動的納米級壓電物鏡位移器,壓電物鏡位移器內部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導向機構,采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構,柔性導向系統具有超高的導向精度,且具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點,壓電物鏡位移器內置精密位移傳感器進行全閉環的位置反饋,確保了壓電位移器具有的運動控制精度,定位精度、分辨率和穩定性可以達到納米量級,定位穩定時間僅為毫秒量級。 |